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薄膜厚度測(cè)試,膜厚測(cè)試儀,SR-C 緊湊型高精度反射膜厚儀，利用光學(xué)干涉原理，通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射光譜，快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息。

SR-Mapping反射膜厚儀是超快速薄膜表征儀器，通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射光譜，從而測(cè)量薄膜的厚度及光學(xué)常數(shù)。

在線膜厚儀,SR-M顯微膜厚儀針對(duì)特定微小區(qū)域，可提供微米級(jí)的聚焦光斑，同時(shí)利用顯微物鏡定位測(cè)量點(diǎn)，從而獲取精準(zhǔn)位置的厚度表征結(jié)果。

薄膜折射率測(cè)試,RT-V 系列反射透射測(cè)量儀，采用進(jìn)口氘鹵二合一光源，結(jié)合高性能分光光譜儀，可測(cè)量獲得紫外到近紅外光譜范圍內(nèi)薄膜的反射率和透射率光譜，并進(jìn)一步計(jì)算獲得樣品色坐標(biāo)，以及薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息。